El cuenta con un punto de fusión más alto de todos los metales y se utiliza para el material de procesamiento, por lo cual es apropiado para aplicaciones con temperaturas muy altas. También se caracteriza por su coeficiente de expansión térmica extraordinariamente bajo y una elevada estabilidad dimensional. Su alto nivel de conductividad eléctrica y su baja difusión hacia las capas contiguas convierten al tungsteno en un componente importante en transistores de película fina.